白光干涉儀是3D檢測領(lǐng)域中高精度的精密測量儀器之一,，特別是在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域。市場中的國外白光干涉儀品牌,，因為價格昂貴,，讓很多企業(yè)望而卻步，品質(zhì)和售后也是參差不齊,。做的好的國產(chǎn)白光干涉儀不多,，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀算一個。

SuperView W1白光干涉儀跟國外的zygo白光干涉儀對標(biāo),，品質(zhì)和售后也有保障,，更大的優(yōu)勢是軟件方面?；诎坠飧缮嬖?，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面,、超光滑到粗糙等各種表面類型,，其*的3D重建算法，自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達(dá)亞納米級別,，讓3D測量變得簡單。

產(chǎn)品參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)配置

可選配置

產(chǎn)品特點

1,、參數(shù)測量：粗糙度,、圍觀輪廓尺寸、角度,、面積,、體積、一網(wǎng)打盡,；

2,、環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測，納米波動,，也無可藏匿,；

3、雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,，讓“以卵擊石”也能安然無恙,；

4、自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋,，讓3D拼接“天衣無縫”,；

5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振,，任你“地動山搖,，我自巋然不動”。

性能特征

1,、高精度,、高重復(fù)性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng),，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng),，保證了測量精度和測量重復(fù)性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成Z向聚焦,、載物臺平移、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

（1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,，當(dāng)鏡頭運(yùn)動到該位置時,，就立刻停止不再向下運(yùn)動，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用,。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器,，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān),，不再響應(yīng)向下位移的指令,，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù),，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,，也守護(hù)每一分價值和信任。

應(yīng)用領(lǐng)域

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1國產(chǎn)白光干涉儀讓輪廓測量價格更為實惠,，分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%,，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便,，可自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),。適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、孔隙間隙,、彎曲變形情況、腐蝕情況,、表面缺陷,、臺階高度、波紋度,、磨損情況,、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè),，致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,。經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究，設(shè)計制造了Super View系列白光干涉儀,、GT系列激光跟蹤儀,、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機(jī),、SJ5700系列輪廓測量儀,、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量,、計量設(shè)備,。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量，為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案,。